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電子行業(yè)廢氣治理方案

電子行業(yè)的廢氣治理一直一大難題，電子行業(yè)產(chǎn)生的廢氣種類多，治理難度大，排放的廢氣具有風(fēng)量大(通常大于11000m3/h)、VOCs濃度低(通常小于25ppm v)的特點(diǎn)。排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。這些問(wèn)題困擾著很多企業(yè)。奧維環(huán)保跟大家一起分析一下改行業(yè)的廢氣特點(diǎn)及治理措施。

電子行業(yè)中的VOCs種類常見的就達(dá)30多種，主要來(lái)自半導(dǎo)體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機(jī)機(jī)殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、電路板清洗、電子組件清洗等)使用有機(jī)脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機(jī)溶劑，去光刻膠類化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點(diǎn)的硫類和胺類之有機(jī)溶劑。

電子行業(yè)廢氣危害性：

電子行業(yè)廢氣中含有大量的有害物質(zhì)，如果不對(duì)這些廢氣處理的話，當(dāng)含有害物質(zhì)漂浮在空氣，不但對(duì)周邊的環(huán)境造成污染還會(huì)危及人類的身體健康，特別是在電子廠上班的員工，如果長(zhǎng)期呼吸這類氣體，會(huì)對(duì)員工肺部有很大影響，造成各種疾病。

電子行業(yè)廢氣治理方法：

針對(duì)電子行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)采用相應(yīng)的治理技術(shù)，主要方法還是吸附法、焚燒法。對(duì)于半導(dǎo)體、TFT—LCD和LED、PCB等企業(yè)，有機(jī)廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體，治理技術(shù)一般采用多級(jí)廢氣治理方式，一般采用“噴淋塔淋洗+沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+催化燃燒”治理方案，對(duì)電子終端產(chǎn)品企業(yè)一般采用“漆霧過(guò)濾柜+活性炭吸附”治理方案。

沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+催化燃燒是使廢氣經(jīng)過(guò)預(yù)處理后,進(jìn)入轉(zhuǎn)輪進(jìn)行吸附凈化,達(dá)標(biāo)排放。當(dāng)沸石轉(zhuǎn)輪滿足脫附條件時(shí),系統(tǒng)進(jìn)行介質(zhì)再生。與CTO相配合,完成脫附和燃燒氧化,徹底分解VOCs分子，成生二氧化碳和水。該方案廢氣凈化率可達(dá)90%以上，且無(wú)二次污染。但是投資較高，有很多的企業(yè)無(wú)法接受動(dòng)輒上百萬(wàn)的廢氣處理投資。

活性炭吸附裝置通過(guò)利用高性能活性炭吸附劑固體本身的表面作用力,將有機(jī)廢氣分子之吸附質(zhì)吸引附著再吸附劑表面,能對(duì)苯、醇、酮、酯、汽油類等有機(jī)溶劑的廢氣吸附, 經(jīng)過(guò)活性碳吸附后，符合排放標(biāo)準(zhǔn)的凈化氣體經(jīng)風(fēng)機(jī)排放。適用于低濃度大風(fēng)量或高濃度間歇排放廢氣的作業(yè)環(huán)境。廣泛應(yīng)用于電子元件行業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的廢氣惡臭氣體凈化。